匀胶机

规格参数：

 旋涂基材6英寸或更小

 包括三个真空旋转卡盘

 用于手套箱的占地面积小

 易于使用的触摸屏界面

 可编程旋涂工艺

 耐用的设计以及耐化学腐蚀的材料

 耐化学腐蚀HDPE旋转碗

 耐用的不锈钢机身，具有耐化学腐蚀的透明旋转盖

 4.3”触摸屏界面

 基板尺寸：从1厘米到6英寸晶圆

 转速范围：100-12000 RPM

 转速分辨率：1RPM

 加速范围：空载100-30000 RPM / s

 程序：10个旋转程序，每个程序有10个步骤

 安全：真空联锁和旋转盖联锁

 尺寸：270(W)*387(D)*258(H)