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匀胶机

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规格参数:

 旋涂基材6英寸或更小

 包括三个真空旋转卡盘

 用于手套箱的占地面积小

 易于使用的触摸屏界面

 可编程旋涂工艺

 耐用的设计以及耐化学腐蚀的材料

 耐化学腐蚀HDPE旋转碗

 耐用的不锈钢机身,具有耐化学腐蚀的透明旋转盖

 4.3”触摸屏界面

 基板尺寸:从1厘米到6英寸晶圆

 转速范围:100-12000 RPM

 转速分辨率:1RPM

 加速范围:空载100-30000 RPM / s

 程序:10个旋转程序,每个程序有10个步骤

 安全:真空联锁和旋转盖联锁

 尺寸:270(W)*387(D)*258(H)


匀胶机
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